產(chǎn)品時(shí)間:2024-05-31
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商品規(guī)格
阻抗率計(jì)自動(dòng)測(cè)繪系統(tǒng) MCP-S330
精確測(cè)量表面電阻率[Ω/ sq?]和體積電阻率[Ω/ cm?]不受樣本形狀的影響。
導(dǎo)電膜,金屬,金屬薄膜等的厚度和成份變化一目了然。
可與Loresta GX連接,測(cè)量範(fàn)圍:10-4至107Ω
全自動(dòng):測(cè)量、算術(shù)、數(shù)據(jù)處理、3D圖形輸出
樣品尺寸:300mm平方(可連續(xù)測(cè)量多張樣品)
除三種類型的測(cè)量位置組,還可從外部源導(dǎo)入坐標(biāo)數(shù)據(jù):
網(wǎng)格輸入、線輸入、順序輸入
比較器功能:於範(fàn)圍外之測(cè)量結(jié)果,在螢?zāi)簧蠘?biāo)示其測(cè)定點(diǎn)
測(cè)定對(duì)象:金屬,金屬薄膜,導(dǎo)電塗料,導(dǎo)電膜,片材等
高精確阻抗率計(jì)檢測(cè)法
言
科技快速進(jìn)步,電子半導(dǎo)體的開(kāi)發(fā)及應(yīng)用,往往會(huì)應(yīng)產(chǎn)品的需求而相對(duì)提高成品組合間的品質(zhì),如:阻抗、阻抗率。目在半導(dǎo)體業(yè)間常需要此阻抗、阻抗率的數(shù)據(jù)來(lái)了解其相互之間問(wèn)題。由於以傳統(tǒng)的方式來(lái)測(cè)量需要耗費(fèi)人力、物力及時(shí)間去套入公式以求得結(jié)果,造成檢測(cè)中大困擾,因此,日東精工分析科技便研發(fā)了更方便的測(cè)量?jī)x器來(lái)解決,不用再計(jì)算繁瑣的公式了。符合了國(guó)際間的ISO 1853、ISO 2878、ASTM D991、JIS K 7194、JIS R 1637。
1-1 概念
Resistance阻抗:阻抗被用於不同狀態(tài)和物質(zhì)性質(zhì),是做阻抗是隨物質(zhì)形狀、大小、測(cè)定位置不同而變化。
Resistivity阻抗率:阻抗率乃為阻抗(Ω)乘以阻抗率校正因數(shù)(RCF)而來(lái),通常,它要經(jīng)過(guò)番努力煩瑣的計(jì)算出校正因數(shù)後,才能換算得知。而日東精工微電腦阻抗率計(jì)能於短時(shí)間內(nèi)輕易的精確處理出物質(zhì)阻抗率。
阻抗:測(cè)值會(huì)隨條件變化的。
阻抗率:是對(duì)絕對(duì)值,對(duì)每個(gè)物質(zhì)來(lái)說(shuō)它只有個(gè)測(cè)值。
例:測(cè)量黃金時(shí)
Resistance(Ω)
2.4× 10-8 Ω big< 2.4× 10-6 Ω bigger< 2.4× 10-2 Ω
Resistivity(Ωcm)
2.4× 10-6 Ωcm changeNo.= 2.4× 10-6 Ωcm changeNo.= 2.4× 10-6 Ωcm
“Ω"or“Ωcm"- which will you use for evaluating materials?
“Resistivity" is a simple index for classifying all the materials in the world.
1-2 阻抗(Resistance)和阻抗率計(jì)(Resistivity)之間的關(guān)係
~關(guān)鍵在阻抗率校正因數(shù)(RCF) ~
? Resistance阻抗(R),阻抗=電阻
當(dāng)個(gè)電流(I)流穿物質(zhì),其電的阻抗乃緣由入口與出口間有電位差(V)造成,故以公式表此關(guān)係即歐姆定律(Ohm’s law)。
阻抗R(Ω)=V[V]/I[A]
? Volume Resistivity體積阻抗率(ρν),阻抗率=電阻係數(shù)
表示物質(zhì)每單位體積之阻抗。
“體積阻抗率"也叫做"特殊阻抗Specific Resistance"或"阻抗率"
“體積阻抗率"是大部分利用於物質(zhì)方面之用詞;
“特殊阻抗"是共通於電學(xué)方之用詞;
“阻抗率"常被用在物理學(xué)方面之用詞。
體積阻抗率 ρν [Ωcm] =R [Ω] × RCF× t
此單位“Ωcm"讀為“厘米歐姆"每物質(zhì)為有單特性值為體積阻抗率。
※Condductivity電導(dǎo)率(σ)
電導(dǎo)率是體積阻抗率的相反,它又被叫“電的電導(dǎo)率"或“電導(dǎo)係數(shù)"。
電導(dǎo)率 σ [ /cm ]=1/ρν,此單位是“S/cm"讀做每厘米西門(mén)子。
? Surface Resistivity表面阻抗率(ρs)
表示物質(zhì)每單位表之阻抗。
“表面阻抗率"也叫做“單張阻抗"其單位為“Ω"。然而為了要和阻抗(Resistance)區(qū)分,所以被寫(xiě)為“Ω/□"或“Ω/sq"讀為“每歐姆平方"。
表面阻抗率因材質(zhì)厚度不同而變化,所以通常被利用於塗裝或薄膜方面,相反的,它可被利用於厚度的判斷指標(biāo)。
表面阻抗率 ρ[ Ω/sq ] = R[ Ω ] × RCF = ρν× 1/t
? Resistivity Correction Factor阻抗率校正因數(shù)(RCF)
通常以金屬電極(4針探頭)固定於樣品表面以測(cè)得阻抗。
阻抗乘以阻抗率因素而計(jì)算出體積阻抗率及表面阻抗率。 阻抗因數(shù)是依電極之形號(hào)、尺寸、內(nèi)針距離或樣品之形狀、尺寸,測(cè)定位置而被確定求出。
利用Poisson’s方程式可精確的求出於電磁學(xué)的確定電位。
1-3 阻抗率之計(jì)算 [傳統(tǒng)方法]
~阻抗率是物質(zhì)之絕對(duì)值~